罗茨滑阀泵采用两个同轴转子相互啮合的方式来进行气体吸入和排放。罗茨滑阀泵的转子数目为2、3、4、5或多个，根据自身的需求可以再一次进行选择不同数量的转子。罗茨滑阀泵的转子上面有一些平行于轴线的槽，这些槽与机壳之间形成封闭的容积，当转子旋转时，容积与进气口连通并且逐渐变大，形成负压使气体被吸入进来，在容积与出气口连通并且逐渐减小时，气体被排放出去。罗茨滑阀泵的转子之间没有直接的机械接触，因此不需要润滑或密封剂，并且不会污染被抽气体。罗茨滑阀泵能快速排出大量气体，并且在高真空和超高真空区域内都有很好的稳定性和可靠性。

  罗茨滑阀泵真空机组大范围的应用于半导体制造、光学镀膜、太阳能光伏、化学处理、真空冶金、飞行航天等领域。在半导体制造中，作为主要的抽气设备，可提供稳定的高真空环境，使得芯片晶圆的生产的全部过程更加精确和高效。在化学处理和真空冶金领域，能够有效地去除气体和杂质，来保证反应过程的纯净度和稳定能力。在飞行航天领域，常用于航天器的真空测试和模拟环境的制造。

  随着科技的进步和工业技术的不停地改进革新，应用领域和技术水平也在继续扩展和提高。一方面，将会更加智能化、自动化和数字化，通过物联网技术实现设备的远程监测和控制，提高设备的运行效率和稳定能力。另一方面，将会更加环保和节能，采用新型材料和设计，减少能源消耗和废气排放，降低对环境的影响。

  罗茨滑阀泵真空机组作为一种高效、稳定的真空设备，慢慢的变成了现代工业生产里重要的一部分。